型號：Q150R
生產廠家：英國QUORUM

主要特點：
一款多功能緊湊型機械泵抽真空鍍膜系統，對于SEM樣品制備及其它鍍膜應用非常理想。直徑為165mm/6.5”的腔室可容納多種需要鍍導電膜的樣品 – 尤其用于在SEM應用中提高成像質量。
采用全自動控制的新型系統能夠在一次真空條件下順序濺鍍多達三層不同的金屬膜，靶材可選菜單有15種預設工作程序的材料，還能自動探測放入的晶圓尺寸如100，150，200或300mm。具有渦輪泵的高真空鍍膜儀使用標準濺射靶材，在系統中允許使用多種靶材，如易氧化金屬和貴金屬。